Şanlıurfa’da kurulan ilk yükseköğretim birimi “Şanlıurfa Meslek Yüksekokulu”dur.1976 yılında Dicle Üniversitesine bağlı olarak kurulmuştur. Daha sonra, 1978 yılında Dicle Üniversitesine bağlı Ziraat Fakültesi,1984 yılında Dicle Üniversitesine Mühendislik Fakültesi İnşaat Mühendisliği Bölümü ve 1988 yılında Gaziantep Üniversitesine bağlı İlahiyat Fakültesi kurulmuştur. Harran Üniversitesi Rektörlüğü 11.07.1992 tarihli ve 21281 sayılı Resmi Gazetede yayımlanan 03.07.1992 tarih ve 3837 sayılı kanun ile kurulmuştur ve bu birimler 03.07.1992 tarih ve 3837 sayılı kanunla Harran Üniversitesine bağlanmıştır. Ayrıca Fen-Edebiyat Fakültesi, Tıp Fakültesi, Sosyal Bilimler Enstitüsü, Fen Bilimleri Enstitüsü ve Sağlık Bilimleri Enstitüsü 11.07.1992 tarihli ve 21281 sayılı Resmi Gazetede yayımlanan 03.07.1992 tarih ve 3837 sayılı kanun ile Rektörlüğe bağlı olarak kurulmuştur.

Siverek Meslek Yüksekokulu, Hilvan Meslek Yüksekokulu, Suruç Meslek Yüksekokulu, Birecik Meslek Yüksekokulu, Sağlık Hizmetleri Meslek Yüksekokulu, Viranşehir Meslek Yüksekokulu ve Bozova Meslek Yüksekokulu 2547 sayılı kanunun 2880 sayılı kanunla değişik 7/d-2 maddesi uyarınca Yüksek Öğretim Kurulunun 16.09.1994 tarih ve 21785 sayılı yazısı ile kurulmuştur.

Veteriner Fakültesi, İktisadi ve İdari Bilimler Fakültesi 21.07.1995 tarih ve 22350 sayılı Resmi Gazetede yayımlanan 04.07.1995 tarihli ve 95/7044 sayılı Bakanlar Kurulu kararı ile kurulmuştur.

Akçakale Meslek Yüksekokulu ve Ceylanpınar Meslek Yüksekokulu 2547 sayılı kanunun 2880 sayılı kanunla değişik 7/d-2 maddesi uyarınca Yüksek Öğretim Kurulunun 07.09.1995 tarih ve 1869/17819 sayılı yazısı ile kurulmuştur.

Sağlık Yüksekokulu 02.11.1996 tarih ve 22805 sayılı Resmi Gazetede yayımlanan 10.10.1996 tarihli ve 96/8655 sayılı Bakanlar Kurulu kararı ile kurulmuştur. 1996 yılında Kahta Meslek Yüksekokulu kurulmuştur. Ancak, Kahta Meslek Yüksekokulu 01.03.2006 tarih ve 5467 sayılı kanunla kurulan Adıyaman Üniversitesi’ne bağlanmıştır.